科技改變生活 · 科技引領(lǐng)未來
根據(jù)Reportlinker數(shù)據(jù),全球光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì)2019-2026年CAGR有望達(dá)到6.3%,至2023年突破100億美金,到2026年超過120億美元。大陸市場(chǎng)增速高于全球,2022年規(guī)模有望超過百億人民幣,占全球光刻膠市場(chǎng)比例也將持
根據(jù) Reportlinker 數(shù)據(jù),全球光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì) 2019-2026 年 CAGR 有望達(dá)到 6.3%,至 2023 年突破 100 億美金,到2026 年超過 120 億美元。大陸市場(chǎng)增速高于全球,2022 年規(guī)模有望超過百億人民幣,占全球光刻膠市場(chǎng)比例也將持續(xù)提升,到 2026 年占比有望從 2019 年 15%左右提升到 19.3%。
從下游領(lǐng)域看,顯示、PCB、IC 是三大應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體光刻膠技術(shù)難度最高,增速最快。SEMI 統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,2021 年全球 IC 光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 24.7 億美元,較上年同期增長(zhǎng) 19.49%,大陸增速超全球兩倍。LCD 光刻膠市場(chǎng)穩(wěn)健增長(zhǎng),2020 年全球規(guī)模近 14 億美金,2021-2026 年 CAGR 為 2%,大陸受益產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移和本土面板廠崛起,2019-2023 年 CAGR 達(dá) 14.6%,高于全球水平。
本期的智能內(nèi)參,我們推薦中泰證券的報(bào)告《光刻膠行業(yè)深度報(bào)告》,揭秘光刻膠的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。
來源 中泰證券
原標(biāo)題:
《光刻膠行業(yè)深度報(bào)告》
作者: 王芳 楊旭
一、百億美金市場(chǎng),顯示+PCB+IC 三大應(yīng)用
全球市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)容,2023 年有望突破百億美金。光刻膠作為制造關(guān)鍵原材料,隨著未來汽車、人工智能、國(guó)防等領(lǐng)域的快速發(fā)展,全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將有望持續(xù)增長(zhǎng)。根據(jù) Reportlinker 數(shù)據(jù),全球光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì) 2019-2026 年復(fù)合年增長(zhǎng)率有望達(dá)到 6.3%,至 2023 年突破 100億美金,到 2026 年超過 120 億美元。
大陸市場(chǎng)增速高于全球,2022 年有望超過百億人民幣。疊加產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移因素,中國(guó)光刻膠市場(chǎng)的增長(zhǎng)速度超過了全球平均水平。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),2021 年中國(guó)光刻膠市場(chǎng)達(dá) 93.3 億元,16-21 年 CAGR 為11.9%,21 年同比增長(zhǎng) 11.7%,高于同期全球光刻膠增速 5.75%。隨著未來 PCB、LCD 和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)向中國(guó)轉(zhuǎn)移,中國(guó)光刻膠市場(chǎng)有望不斷擴(kuò)大,占全球光刻膠市場(chǎng)比例也將持續(xù)提升,預(yù)計(jì)到 2026 年占比有望從 2019 年的 15%左右提升到 19.3%。
2019-2026 年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模
2016-2021 中國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模
顯示、PCB、IC 是三大應(yīng)用領(lǐng)域,合計(jì)占比超 70%。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同,光刻膠可分為印刷電路板(PCB)用光刻膠、液晶顯示(LCD)用光刻膠、半導(dǎo)體用光刻膠和其他用途光刻膠。根據(jù) Reportlinker 數(shù)據(jù),2019 年 PCB、半導(dǎo)體和平板顯示光刻膠占比分別為 27.8%、21.9%、23.0%,為前三大應(yīng)用領(lǐng)域。
2019 全球光刻膠下游應(yīng)用
按顯影過程中曝光區(qū)域的去除或保留分,分成正性光刻膠(正膠)和負(fù)性光刻膠(負(fù)膠),正負(fù)膠各有優(yōu)勢(shì),但正膠分辨率更高,是主流光刻膠。
正性、負(fù)性光刻膠擁有不同特點(diǎn),適用于不同工藝
1、半導(dǎo)體光刻膠:技術(shù)難度最高,增速最快
全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)增速遠(yuǎn)高于全球光刻膠平均水平,占比不斷提升。據(jù) SEMI 統(tǒng)計(jì),2021 年全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 24.71 億美元,較上年同期增長(zhǎng) 19.49%,2015-2021 年 CAGR 為 12.03%。2019 年全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模分別為約為 18 億美元,半導(dǎo)體光刻膠占整體光刻膠比重約 21.9%,到 2021 年占比提升至 26.85%。
大陸半導(dǎo)體光刻膠增速超全球兩倍。分地區(qū)看,中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)依舊保持著最快增速,2021 年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 4.93 億美元,較上年同期增長(zhǎng) 43.69%,超過全年半導(dǎo)體光刻膠增速的兩倍;中國(guó)占比全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)比重也將從 2015 年約 10.4%提升到 2021 年接近20%。
2015-25 中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)占全球比重
19-21 年半導(dǎo)體光刻膠占比不斷提升
全球半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模逐步提升(億美元)
光刻膠約占半導(dǎo)體材料 6%(2020 年)
中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的快速崛起離不開中國(guó)整體半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。受益于 5G 大規(guī)模建設(shè),以及 2020 年新冠疫情導(dǎo)致遠(yuǎn)程辦公、網(wǎng)絡(luò)直播等應(yīng)用普及,全球集成電路行業(yè)發(fā)展迅猛,根據(jù) Frost&Sullivan 數(shù)據(jù),2013 年集成電路市場(chǎng)規(guī)模為 2518 億美元,到 2019 年集成電路市場(chǎng)規(guī)模高達(dá) 3334 億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率為 4.79%。2019 年全球集成電路市場(chǎng)規(guī)模有所下滑,主要系全球貿(mào)易摩擦、存儲(chǔ)供需變化以及智能手機(jī)、服務(wù)器等產(chǎn)品需求下滑因素影響。預(yù)計(jì)到 2025 年,全球集成電路市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到 4750 億美元,2020-2025 年 CAGR 為 6.02%。
我國(guó)集成電路行業(yè)起步較晚,但發(fā)展迅速。根據(jù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù),2013 年中國(guó)集成電路銷售收入為 2508 億元,2019 年達(dá)到 7562億元,年均復(fù)合增速達(dá)到 20.2%,在 5G 和新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)下,如汽車電子行業(yè)和物聯(lián)網(wǎng)的推動(dòng)下,中國(guó)集成電路行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將不斷擴(kuò)大,預(yù)計(jì)到 2025 年,我國(guó)集成電路市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到 18932 億元,2020-2025 年 CAGR 為 16.22%。
按曝光波長(zhǎng)分,全球 ArF/EUV 光刻膠占比超 50%,為國(guó)際主流。半導(dǎo)體光刻膠按照曝光波長(zhǎng)不同可分為 g 線(436nm)、i 線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)以及新興起的 EUV 光刻膠 5 大類,高端光刻膠指 KrF、ArF 和 EUV 光刻膠,等級(jí)越往上其極限分辨率越高,同一面積的硅晶圓布線密度越大,性能越好。根據(jù) TECHCET 數(shù)據(jù),從市場(chǎng)分布看,2021 年 ArFi+ArF 光刻膠占全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模的比例為 48.1%,KrF 占比 34.7%,G/I 線占 14.7%。ArF(包括 ArFi)光刻膠已是集成電路制造需求金額最大的光刻膠產(chǎn)品,隨著集成電路產(chǎn)業(yè)超先進(jìn)制程持續(xù)發(fā)展,ArF 光刻膠持續(xù)迎來廣闊市場(chǎng)機(jī)遇。
2021 年全球不同類別半導(dǎo)體光刻膠占比
半導(dǎo)體光刻膠的分類及應(yīng)用場(chǎng)景
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,制造工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷縮小,KrF 和 ArF 光刻膠市場(chǎng)需求量更大,增速更快,是推動(dòng)當(dāng)下光刻膠市場(chǎng)快速 增長(zhǎng)的主要因素。從市場(chǎng)規(guī)模增速來看,EUV 光刻膠發(fā)展最快,但處于發(fā)展初期體量較小,2021 年僅約 0.51 億美元,預(yù)計(jì)到 2025 年達(dá)到1.97 億美元,2020-2025CAGR 達(dá) 48.8%;增速第二快的是 KrF 光刻膠,其 2021 年全球市場(chǎng)規(guī)模為 6.9 億美元,預(yù)計(jì)到 2025 年達(dá)到 9.07億美元,2020-2025 年 CAGR 為 8.2%。ArF 光刻膠(ArF+ArFi)2021 年全球市場(chǎng)規(guī)模為 9.55 億美元,預(yù)計(jì)到 2025 達(dá)到 10.72 億美元,2020-2025 CAGR 為 3.5%;較為低端的 g/i 線光刻膠預(yù)計(jì)市場(chǎng)規(guī)模變化不大,占比縮小。
從應(yīng)用產(chǎn)品看,2021 年邏輯占比超 63.5%,是第一大應(yīng)用領(lǐng)域。非易失性存儲(chǔ)器(NVM)是一種計(jì)算機(jī)即使關(guān)閉電源也能夠保存已保存數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器,增速最快。根據(jù) TECHCET 數(shù)據(jù),2021 年邏輯用光刻膠需求超過 595 萬升,占比超過 63.5%,到 2025 年需求量提升到約 677 萬升,2021-2025 年 CAGR 為 3.3%,由于 NVM 對(duì)光刻膠需求的快速提升(2021-2025CAGR 12.8%),預(yù)計(jì) 2025 年邏輯占比略降低到 59.5%,NVM 占比提升到 26.4%。對(duì)非易失性存儲(chǔ)器(NVM)的需求是主要由于移動(dòng)設(shè)備所需要的存儲(chǔ)容量大幅提升,尤其是相機(jī)、智能手機(jī)和平板電腦。
隨著制程縮減和存儲(chǔ)容量提升,光刻次數(shù)增加,單位面積光刻膠的金額越高。根據(jù) SEMI 的數(shù)據(jù),單位面積所使用的的光刻膠價(jià)值量從 15年 3 月不到 0.12 美元/平方英寸上升到 2021 年 9 月約 0.19 美元/平方英寸,平均價(jià)值量的提升主要來源于先進(jìn)制程占比的提升以及光刻次數(shù)的增加。
2、LCD 光刻膠:市場(chǎng)穩(wěn)健增長(zhǎng),大陸增速遠(yuǎn)高于全球
面板光刻膠主要分為彩色光刻膠、黑色光刻膠、觸摸屏用光刻膠和TFT-LCD 正性光刻膠。彩色光刻膠、黑色光刻膠主要用于制備彩色濾光片;觸摸屏用光刻膠主要用于在玻璃基板上沉積 ITO 制作觸摸電極;TFT-LCD 正性光刻膠主要用于微細(xì)圖形加工。
彩色濾光片是液晶顯示器實(shí)現(xiàn)彩色顯示的關(guān)鍵器件,因此在面板光刻膠中占比最大。根據(jù)富士經(jīng)濟(jì)數(shù)據(jù),2018 年全球彩色光刻膠市場(chǎng)規(guī)模占面板光刻膠比重超過 60%,TFT 光刻膠、黑色光刻膠分別占比 23%與14%。
光刻膠約占 LCD 面板制造成本的 10%,直接受益于 LCD 市場(chǎng)的擴(kuò)大。根據(jù) TrendBank 數(shù)據(jù),彩色濾光片占面板成本的 21%。彩色光刻膠和黑色光刻膠是制備彩色濾光片的核心材料,在彩色濾光片材料成本中,彩色光刻膠和黑色光刻膠在整體成本中占比約 46%,因此可以測(cè)算光刻膠在 LCD 面板中的成本占比大約為 9.66%,光刻膠的市場(chǎng)直接受益LCD 市場(chǎng)的擴(kuò)大。
全球 LCD 光刻膠市場(chǎng)規(guī)模超 13 億美金,2021-2026 年 CAGR 為 2%。 根據(jù) QY research,全球 LCD 光刻膠市場(chǎng)穩(wěn)步上升,2020 年達(dá)到13.98 億美元,預(yù)計(jì) 26 年達(dá)到 15.75 億美元。2020-2026 年 CAGR 為2%。未來有望受益于 LCD 電視的大尺寸化、高清化趨勢(shì),LCD 面板出貨面積不斷提升,充分傳導(dǎo)至面板光刻膠需求。根據(jù)智研咨詢數(shù)據(jù),預(yù)計(jì) 2019-2023 年我國(guó) LCD 光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將會(huì)從 40 億元提升到69 億元,4 年 CAGR 14.6%,預(yù)計(jì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占比也將從 19 年 47.9%提升到 23 年 74.6%。
2016-2026 全球 LCD 光刻膠市場(chǎng)規(guī)模(億美元)
2019-2023 年中國(guó) LCD 光刻膠市場(chǎng)規(guī)模及占比變化
LCD 光刻膠受益 LCD 市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)大,大尺寸、高清化是行業(yè)發(fā)展主要驅(qū)動(dòng)力。LCD 電視的大尺寸化趨勢(shì)是促進(jìn)液晶面板行業(yè)發(fā)展的主要?jiǎng)恿Α8鶕?jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院,LCD 電視是 TFT-LCD 面板的第一大應(yīng)用領(lǐng)域,在整個(gè)液晶面板的市場(chǎng)中占據(jù)超過 60%的面板需求,LCD 電視的出貨量決定了液晶面板的需求走勢(shì)。
隨著日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)新建 LCD 產(chǎn)線速度減慢甚至關(guān)停現(xiàn)有產(chǎn)線,以及中國(guó)大陸廠商的異軍突起,中國(guó)大陸面板產(chǎn)線建設(shè)活躍,為全球新型顯示設(shè)備和原材料提供了主要市場(chǎng)。根據(jù)群智咨詢數(shù)據(jù),21H1 京東方,TCL 華星、惠科、彩虹光電四大國(guó)產(chǎn)面板廠商出貨面積分別達(dá)到 20.5、14.9、8.5、5 百萬平方米,在全球十大面板廠商出貨面積占比達(dá)到 58.1%,預(yù)計(jì)隨著產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移持續(xù)以及在建產(chǎn)能釋放,到 23 年國(guó)內(nèi)廠商出貨面積合計(jì)占比將到達(dá)約 67%。
3、PCB 光刻膠:產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移是主要推動(dòng)力
PCB 的加工制造過程涉及圖形轉(zhuǎn)移,即把設(shè)計(jì)完成的電路圖像轉(zhuǎn)移到襯底板上,因而在此過程中會(huì)使用到光刻膠。基本過程如下:首先在襯底表面形成一層光刻膠薄膜,然后使紫外光通過掩膜板照射到光刻膠薄膜上,曝光區(qū)域發(fā)生一系列的化學(xué)反應(yīng),再通過顯影的作用將曝光區(qū)域(正性)或未曝光區(qū)域(負(fù)性)溶解并去除,最后經(jīng)過固化、蝕刻、退膜等一系列過程將圖形轉(zhuǎn)移至襯底。
PCB 光刻膠具體包括干膜光刻膠、濕膜光刻膠(又稱抗蝕劑/線路油墨)和光成像阻焊油墨,是 PCB 產(chǎn)業(yè)重要的上游材料,在 PCB 成本結(jié)構(gòu)中光刻膠和油墨的占比約為 3%。
PCB 成本結(jié)構(gòu)占比:光刻膠&油墨成本約占 3%
1990年以前,全球 PCB 市場(chǎng)由歐美日主導(dǎo),此時(shí),我國(guó) PCB 光刻膠產(chǎn)品也依賴進(jìn)口。自 20 世紀(jì) 90 年代中期開始,PCB 產(chǎn)業(yè)開始轉(zhuǎn)移,2002 年開始,外資 PCB 光刻膠企業(yè)陸續(xù)在華建廠。至 2017 年,我國(guó) PCB 產(chǎn)值占全球份額達(dá) 50.8%,PCB 光刻膠產(chǎn)值占全球份額也超 70%,到2019 年的市場(chǎng)份額達(dá)到 93.35%,主要集中在中低端產(chǎn)品市場(chǎng)。
全球 PCB 產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移 vs PCB 光刻膠產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移
受 2020 年疫情影響,全球經(jīng)濟(jì)整體萎縮,而 PCB 市場(chǎng)強(qiáng)勢(shì)反彈并實(shí)現(xiàn)了 6.4%的增速,主要得益于數(shù)據(jù)中心、云服務(wù)器等需求增長(zhǎng)帶動(dòng)的封裝載板領(lǐng)域、HDI 以及高多層板等的爆發(fā)。根據(jù) Prismark2020 年 Q4 報(bào)告,從中長(zhǎng)期看,PCB產(chǎn)業(yè)也將保持穩(wěn)定增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì),預(yù)計(jì) 2020 年至 2025 年全球 PCB 產(chǎn)值的年復(fù)合增長(zhǎng)率約為 5.8%。
2016-2020 年中國(guó) PCB 產(chǎn)值占比不斷提升
從區(qū)域看,根據(jù) Prismark 預(yù)測(cè),未來全球各區(qū)域的 PCB 產(chǎn)業(yè)都將呈現(xiàn)較快發(fā)展?fàn)顟B(tài)。其中,2020 年中國(guó)地區(qū)預(yù)測(cè)同比增長(zhǎng) 6.4%,2020 年至 2025 年中國(guó)地區(qū)復(fù)合增長(zhǎng)速度預(yù)測(cè)將達(dá)到 5.6%。日本、亞洲(主要是我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)和韓國(guó))是全球封裝基板主要供應(yīng)地,未來 5 年將呈現(xiàn)較高的增長(zhǎng)速度。
分地區(qū) 2020-2025 年 PCB 產(chǎn)值預(yù)測(cè)
二、美日寡頭壟斷,國(guó)產(chǎn)化需求迫切
1、四大壁壘鑄就高集中度,全球市場(chǎng)美日寡頭壟斷
光刻膠生產(chǎn)工藝復(fù)雜,四大壁壘鑄就行業(yè)高門檻。
第一大壁壘:技術(shù)壁壘,生產(chǎn)工藝要求極高,配方是根本。作為光刻工藝的核心,光刻膠需滿足四大條件。選擇光刻膠的決定因素是晶圓表面對(duì)尺寸的要求。光刻膠必須要同時(shí)滿足四大條件:1)產(chǎn)生要求的尺寸。2)在刻蝕過程中具有阻擋刻蝕的功能,保持特定厚度的光刻膠層中一定不能存在針孔。3)必須和晶圓(或其他襯底)表面能很好的粘合,否則刻蝕后的圖形可能發(fā)生扭曲。4)工藝維度和階梯覆蓋能力。
光刻膠主要技術(shù)參數(shù)
全球光刻膠技術(shù)來源國(guó)分布(截至 2021 年 9 月) (單位:萬件)
第二大壁壘:客戶認(rèn)證壁壘,上下游深度綁定,驗(yàn)證周期長(zhǎng)。在光刻膠供貨前,一般會(huì)經(jīng)過光刻膠產(chǎn)品的驗(yàn)證及工廠(產(chǎn)線)資質(zhì)的驗(yàn)證,其中光刻膠驗(yàn)證根據(jù)驗(yàn)證階段分為 PRS(光刻膠性能測(cè)試)、STR(小試)、MSTR(批量驗(yàn)證)及 Release(通過驗(yàn)證);工廠(產(chǎn)線)資質(zhì)驗(yàn)證方面,主要在質(zhì)量體系、供貨穩(wěn)定性、工廠(產(chǎn)線)產(chǎn)能等幾方面進(jìn)行驗(yàn)證。在工廠(產(chǎn)線)資質(zhì)驗(yàn)證通過以及產(chǎn)品驗(yàn)證通過后,可實(shí)現(xiàn)對(duì)客戶的正式供貨。由于驗(yàn)證周期通常為 6-24 個(gè)月,下游晶圓廠切換光刻膠成本較高,通常客戶切換光刻膠意愿不強(qiáng),光刻膠企業(yè)較難進(jìn)行客戶的突破。
第三大壁壘:設(shè)備壁壘,光刻機(jī)昂貴且購(gòu)買難度大。送樣前,光刻膠生產(chǎn)商需要購(gòu)臵光刻機(jī)用于內(nèi)部配方測(cè)試,根據(jù)驗(yàn)證結(jié)果調(diào)整配方。光刻機(jī)設(shè)備昂貴,數(shù)量有限且供應(yīng)可能受國(guó)外限制,尤其是 EUV 光刻機(jī)目前全球只有 ASML 能批量供應(yīng)。
2019-2021 年 ASML 光刻機(jī)銷售情況(單位:臺(tái))
2021 年 ASML 光刻機(jī)平均售價(jià)
第四大壁壘:原材料壁壘,國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈尚不完善,樹脂、單體產(chǎn)業(yè)化困難重重。上游原材料是影響光刻膠品質(zhì)的重要因素,目前我國(guó)光刻膠原材料市場(chǎng)基本被國(guó)外廠商壟斷,尤其是樹脂和感光劑高度依賴于進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)化率很低,由此增加了國(guó)內(nèi)光刻膠生產(chǎn)成本以及供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。
2020 年全球光刻膠競(jìng)爭(zhēng)格局
從半導(dǎo)體光刻膠細(xì)分產(chǎn)品看,各大巨頭更側(cè)重中高端光刻膠。目前東京應(yīng)化綜合實(shí)力位列第一,除了在 ArF 光刻膠領(lǐng)域以 16%的市占率位于 JSR(25%)、信越化學(xué)(22%)、住友化學(xué)(17%)之后,在其他三個(gè)領(lǐng)域的份額均位列第一,其中在 EUV 光刻膠領(lǐng)域獨(dú)占鰲頭,一家占據(jù)一半以上的份額。
2020 年 g/i 線光刻膠市場(chǎng)占比情況
2020 年 KrF 光刻膠市場(chǎng)占比情況
2020 年 ArF 光刻膠市場(chǎng)占比情況
2020 年 EUV 光刻膠市場(chǎng)占比情況
PCB 光刻膠:低端產(chǎn)品由國(guó)內(nèi)主導(dǎo)。在 PCB 光刻膠市場(chǎng)中,中國(guó)在中低端產(chǎn)品占據(jù)主導(dǎo)地位,2020 年容大感光、廣信材料、東方材料、北京力拓達(dá)等本土企業(yè)占據(jù)國(guó)內(nèi) 46%左右的濕膜光刻膠和光成像阻焊油墨市場(chǎng)份額。但是較高端的干膜光刻膠市場(chǎng)主要由日本旭化成、日本日立化成、中國(guó)臺(tái)灣長(zhǎng)興化學(xué)壟斷,這三大企業(yè)在全球的市場(chǎng)占有率超過80%,我國(guó)在干膜光刻膠方面仍高度依賴進(jìn)口。
中國(guó) PCB 光刻膠主要生產(chǎn)企業(yè)(2020 年)
LCD 光刻膠的全球供應(yīng)集中在日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等地區(qū),我國(guó)彩 色和黑色光刻膠市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化率僅為 5%左右。彩色濾光片所需的高分子顏料和顏料的分散技術(shù)主要集中在 Ciba 等日本顏料廠商手中,因此彩色光刻膠和黑色光刻膠的核心技術(shù)基本被日本和韓國(guó)企業(yè)壟斷。另一方面,近年來我國(guó)在觸控屏光刻膠技術(shù)上有所突破,晶瑞股份和北京科華微已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了觸控屏光刻膠的量產(chǎn),國(guó)產(chǎn)化率在 30%-40%左右。
2、上游原材料樹脂、單體難度較高,大陸產(chǎn)業(yè)化等待突圍
溶劑、感光劑、樹脂是光刻膠的三大原材料。光刻膠會(huì)根據(jù)不同光的波長(zhǎng)和不同的曝光源而進(jìn)行微調(diào)。光刻膠具有特定熱流程特點(diǎn),用特定的方法配臵而成,與特定的表面結(jié)合。這些屬性由光刻膠里不同化學(xué)成分的類型、數(shù)量、混合過程決定,溶劑、感光劑和樹脂是光刻膠三大原材料。
從含量來看,根據(jù) Trendbank 數(shù)據(jù),光刻膠主要原材料占比從大到小分別是溶劑(50%-90%)、樹脂(10%-40%)、光引發(fā)劑(1%-6%)以 及添加劑()。溶劑是光刻膠中容量最大的成分,使光刻膠處于液態(tài),并使光刻膠能通過旋轉(zhuǎn)涂在晶圓表面形成薄層。感光劑在曝光過程中控制或調(diào)節(jié)光刻膠的化學(xué)反應(yīng),用于產(chǎn)生或控制聚合物特定反應(yīng)。
感光劑添加到光刻膠中用來限制反應(yīng)光的波譜范圍或把反應(yīng)光限制到某一特定波長(zhǎng)的光。聚合物用于當(dāng)光刻機(jī)曝光時(shí),聚合物結(jié)構(gòu)由可溶變成聚會(huì)(或反之),是由一組大且重的分子組成,分子里包括碳、氫、氧,典型聚合物如塑料。此外,光刻膠中還含有添加劑。不同類型的添加劑和光刻膠混合在一起來達(dá)到某種特定的結(jié)果。部分負(fù)膠包含染色劑,功能是在光刻膠薄膜中用來吸收和控制光線。正膠可能含有化學(xué)的抗溶解系統(tǒng),這樣的添加劑可以阻止光刻膠沒有被曝光的部分在顯影過程中被溶解。
(1)從成本來看,高端光刻膠中樹脂占成本比重較大。根據(jù)南大光電公告,ArF 光刻膠樹脂以丙二醇甲醚醋酸酯為主,質(zhì)量占比僅 5%-10%,但成本占光刻膠原材料總成本的 97%以上。
光刻膠原材料含量占比
各類光刻膠所需樹脂幾乎全部由海外壟斷。G 線光刻膠用環(huán)化橡膠樹脂;I 線光刻膠使用線性酚醛樹脂,主要是依賴進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)化水平很低。針對(duì)國(guó)內(nèi)光刻膠“卡脖子”的 KrF 和 ArF 光刻膠,KrF 用聚對(duì)羥基苯乙烯類樹脂,基本依賴進(jìn)口,一是因?yàn)樯a(chǎn)樹脂需要的單體國(guó)內(nèi)很少?gòu)S家供應(yīng),二是因?yàn)闃渲纳a(chǎn)工藝也有一定的難度,特別是后處理的工藝。ArF 用聚甲基丙烯酸酯類樹脂,單體為甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯的衍生物單體,ArF 的樹脂由幾種單體共聚而成,定制化程度比較高,高端的Arf 樹脂幾乎無法買到。EUV 用聚對(duì)羥基苯乙烯類樹脂,或分子玻璃、金屬氧化物,國(guó)內(nèi)幾乎空白。
全球兩大類光刻膠樹脂大廠。目前,全球范圍內(nèi)光刻膠樹脂大廠分為兩類:一類是自產(chǎn)樹脂的光刻膠廠商,如信越化學(xué)、杜邦,它們通常掌握著樹脂合成、光刻膠配方的技術(shù)專利。另一類是專門生產(chǎn)樹脂的生產(chǎn)商,如東洋合成、住友電木、三菱化學(xué)等,為光刻膠廠商提供定制化的樹脂。
光刻膠樹脂的分類
(2)單體:日本和美國(guó)企業(yè)占大頭份。
不同光刻膠類型都有相應(yīng)的光刻膠單體。傳統(tǒng) I 線單體主要是甲基酚和甲醛,是大宗化學(xué)品;KrF 單體主要是苯乙烯類單體,性狀是液體;ArF 單體主要是甲基丙烯酸酯類單體,性狀有固體也有液體。光刻膠單體的性能指標(biāo)包括純度,水份,酸值,單雜,金屬離子含量等指標(biāo)。
半導(dǎo)體級(jí)光刻膠單體相比普通單體壁壘更高。1)半導(dǎo)體級(jí)光刻膠單體的合成技術(shù)難度更大。2)半導(dǎo)體級(jí)光刻膠單體要求質(zhì)量更穩(wěn)定,金屬離子雜質(zhì)更少。例如,半導(dǎo)體級(jí)單體純度要求達(dá)到 99.5%,金屬離子含量小于 1ppb(即 10 億分之一);而面板級(jí)別的單體結(jié)構(gòu)是環(huán)氧乙烷類,純度要求或僅 99.0%,金屬離子含量最少小于 100ppb 即可。3)半導(dǎo)體級(jí)光刻膠單體的價(jià)格遠(yuǎn)高于一般類單體。 I 線單體約為 100-200元/公斤,KrF 單體約為 500-1000 元/公斤,ArF 干法和濕法的單體價(jià)格在 3000-10000 元/公斤不等。
產(chǎn)業(yè)化有六大難點(diǎn):1)合成和純化時(shí)需要防止單體聚合;2)光刻膠單體種類繁多,針對(duì)不同的單體必須研究不同的合成方法,難易不一。3)高純度要求:高純度要從不同指標(biāo)上來定義,如從氣相(GC)、液相(HPLC)、凝膠色譜(GPC)等不同的來考察,有時(shí)純度要達(dá)到99.9%以上。4)金屬離子控制:半導(dǎo)體級(jí)單體中尤其是 ArF 單體中的金屬離子含量要達(dá)到 1ppb 以下。5)工藝放大:實(shí)驗(yàn)室中生產(chǎn)的達(dá)標(biāo)單體并不能滿足客戶需求,還需要通過穩(wěn)定的規(guī)模化量產(chǎn)來實(shí)現(xiàn)工業(yè)級(jí)供應(yīng)。6)光刻膠單體企業(yè)進(jìn)入下游客戶的供應(yīng)商體系需要一個(gè)長(zhǎng)期的認(rèn)證過程,且一般不會(huì)輕易更換。
(3)溶劑:目前光刻膠溶劑主要為 PGMEA(丙二醇甲醚酸醋酯,簡(jiǎn)稱 PMA),大陸自給率較高。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心數(shù)據(jù),我國(guó)是全球最大的 PGMEA 生產(chǎn)國(guó)家,產(chǎn)能占據(jù)全球總產(chǎn)量的 35%左右,生產(chǎn)企業(yè)有百川股份、瑞佳化學(xué)、怡達(dá)化學(xué)、華倫、德納國(guó)際等。在全球市場(chǎng)中,PGMEA 生產(chǎn)企業(yè)有陶氏化學(xué)、殼牌化學(xué)品公司、利安德巴塞爾工業(yè)、伊士曼化工等,以上四家企業(yè)占據(jù)全球市場(chǎng)一半以上份額。
(4) 光引發(fā)劑:集中趨勢(shì)日益明顯,歷史采購(gòu)價(jià)呈下滑趨勢(shì)。光引發(fā)劑是光固化材料(主要包括 UV 涂料、UV 油墨、UV 膠粘劑等)的核心原材料。光固化材料是傳統(tǒng)溶劑型涂料、油墨、膠粘劑的重要替代產(chǎn)品。2020 年,全球光引發(fā)劑市場(chǎng)銷售額達(dá)到了 6.8 億美元,預(yù)計(jì)2027 年將達(dá)到約 11 億美元,2020-2027 年 CAGR 為 4.57%。
2016-2027 年光引發(fā)劑市場(chǎng)規(guī)模及預(yù)測(cè)
光引發(fā)劑領(lǐng)域主要的企業(yè)有 IGM Resins,天津久日新材料,常州強(qiáng)力和阿科瑪;其中,IGM Resins 是全球市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者,收入在 2020 年占據(jù)全球 27%的市場(chǎng)份額。天津久日新材料是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者,收入在 2020 年占據(jù)中國(guó) 28%的市場(chǎng)份額。UV 涂料制造業(yè)是對(duì)光引發(fā)劑需求最大的產(chǎn)業(yè),該產(chǎn)業(yè)要求光引發(fā)劑供應(yīng)商能夠提供質(zhì)量可靠、性價(jià)比高的產(chǎn)品并能夠持續(xù)穩(wěn)定供貨。由于下游客戶要求較高,行業(yè)的集中度日益增長(zhǎng)。從光引發(fā)劑的采購(gòu)價(jià)格來看,以容大感光披露的數(shù)據(jù)來看,2018-2020H1,隨著上游供應(yīng)商的競(jìng)爭(zhēng)結(jié)構(gòu)逐漸穩(wěn)定,光引發(fā)劑采購(gòu)價(jià)格總體下降,2020 上半年的采購(gòu)均價(jià)為 131.46 元/千克 ,歷史上光引發(fā)劑采購(gòu)均價(jià)趨降。
光刻膠產(chǎn)業(yè)最早由歐美主導(dǎo),日本廠商后來居上。1839 年,第一套“光刻系統(tǒng)”重鉻酸鹽明膠誕生。此后經(jīng)過百年發(fā)展,光刻膠技術(shù)開始成熟,1950s,德國(guó) Kalle 公司制成重氮萘醌-酚醛樹脂印刷材料,曝光光源可采用 g 線、i 線。1980s,IBM 使用自研的 KrF 光刻膠突破了KrF 光刻技術(shù)。隨后,東京應(yīng)化于 1995 年研發(fā)出 KrF 正性光刻膠并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)化,因此迅速占據(jù)市場(chǎng),這標(biāo)志著光刻膠正式進(jìn)入日本廠商的霸主時(shí)代。
JSR:合成樹脂起家的光刻膠龍頭。公司靠乳膠業(yè)務(wù)起家,由于合成樹脂也是光刻膠的主要材料之一,JSR 在 80 年代初開始借由樹脂技術(shù)切入光刻膠領(lǐng)域。在其后至今的 40 年里,JSR 光刻膠業(yè)務(wù)隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)一同進(jìn)步成長(zhǎng),目前公司半導(dǎo)體光刻膠已全面覆蓋 g 線到 EUV光刻膠。
從浸沒式 ArF 光刻膠到 EUV 極紫外光刻膠,在每一次光刻膠的技術(shù)變革中,JSR 都扮演了行業(yè)先鋒的角色。JSR 主要分為兩個(gè)事業(yè)部,石油化工事業(yè)部和精細(xì)化工事業(yè)部,其中精細(xì)化工事業(yè)部包括半導(dǎo)體材料、顯示材料和邊緣計(jì)算材料三個(gè)領(lǐng)域;JSR 導(dǎo)體材料領(lǐng)域產(chǎn)品包括光刻膠、CMP 材料、封裝測(cè)試材料等,顯示材料包括 LCD 平板材料,反射膜材料和其它功能涂覆材料。
TOK:EUV 光刻膠獨(dú)占鰲頭。是歷史悠久的日本化學(xué)材料企業(yè)。公司成立 1940 年,在 1968 年,1972 年先后開發(fā)出半導(dǎo)體用正型膠和負(fù)型膠后,一直以成為光刻膠龍頭供應(yīng)商為目標(biāo),走在半導(dǎo)體微加工技術(shù)的前列。早在 2006 年,東京應(yīng)化(TOK)就率先投資開始研發(fā) ArF 浸沒光刻膠所需技術(shù),并在世界光刻膠市場(chǎng)上保持了領(lǐng)先地位。
東京應(yīng)化擁有半導(dǎo)體光刻膠完整布局,2020 年,從 g/i 光刻膠到 EUV光刻膠,東京應(yīng)化分別擁有 25.2%、31.4%、15.8%、51.8%的市占率,除了 ArF 光刻膠位列第四以外其他均為第一,成為當(dāng)之無愧的全球光刻膠龍頭企業(yè)。
四、產(chǎn)業(yè)鏈崛起迫切,8個(gè)重點(diǎn)企業(yè)布局
半導(dǎo)體用光刻膠被日本企業(yè)壟斷,國(guó)產(chǎn)化率僅 10%,目前我國(guó)僅實(shí)現(xiàn) g 線、i 線、KrF 光刻膠量產(chǎn),ArF 光刻膠大都處于研發(fā)或送樣階段,EUV 光刻膠尚處于早期研發(fā)階段。平板顯示用光刻膠,主要產(chǎn)地為日本、韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣,其中彩色光刻膠、黑色光刻膠國(guó)產(chǎn)化率僅為 5%,雅克科技收購(gòu) LG 化學(xué)該板塊業(yè)務(wù)后成為國(guó)內(nèi)最大供應(yīng)商。TFT 光刻膠,中國(guó)大陸大部分產(chǎn)能仍為進(jìn)口。PCB 光刻膠,濕膜及阻焊油墨已經(jīng)基本是實(shí)現(xiàn)自給,國(guó)產(chǎn)化率達(dá) 46%,而干膜光刻膠仍需大量進(jìn)口,主要供應(yīng)地區(qū)在日本和中國(guó)臺(tái)灣。
中國(guó)光刻膠國(guó)產(chǎn)化率較低(2020 年)
大陸企業(yè)在上游原材料均有布局。從 A 股上市公司在光刻膠原材料的布局情況來看,溶劑方面有百川股份、怡達(dá)股份等,單體有華懋科技(投資徐州博康)、聯(lián)瑞新材等,樹脂有彤程新材、圣泉集團(tuán)、強(qiáng)力新材等,光引發(fā)劑有強(qiáng)力新材等。
光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈全景圖
光刻膠上游原材料中國(guó)均已有布局
彤程新材:旗下科華&北旭光刻膠雙龍頭,KrF 光刻膠已實(shí)現(xiàn)放量。公司是全球領(lǐng)先的新材料綜合服務(wù)商,外延并購(gòu)北京科華、北旭電子發(fā)力高端光刻膠,已實(shí)現(xiàn)從電子酚醛樹脂到成品光刻膠的完整布局。公司公告顯示,北京科華是唯一被 SEMI 列入全球光刻膠八強(qiáng)的中國(guó)光刻膠公司,批量供應(yīng) KrF 光刻膠;北旭電子是國(guó)內(nèi)面板光刻膠領(lǐng)先企業(yè),TFT 正性光刻膠在京東方占有 45%以上的份額。
2021 年公司半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 1.15 億元元,同比增長(zhǎng) 28.80%;公司半導(dǎo)體用 G/I 線光刻膠產(chǎn)品較上年同期增長(zhǎng) 50.22%;KrF 光刻膠產(chǎn)品較上年同期增長(zhǎng) 265.80%。報(bào)告期內(nèi),公司 G 線光刻膠的市場(chǎng)占有率達(dá)到 60%;I 線光刻膠和 KrF光刻膠批量供應(yīng)于中芯國(guó)際、華虹宏力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力微電子、武漢新芯、華潤(rùn)上華等 13 家 12 寸客戶和 17 家 8 寸客戶。子公司北京科華的 I 線光刻膠已接近國(guó)際先進(jìn)水平,其種類涵蓋國(guó)內(nèi) 14nm 以上大部分工藝需求;KrF 產(chǎn)品在 Poly、AA、metal 等關(guān)鍵層工藝完成了重大突破,獲得客戶批量使用;同時(shí) TM/TV、Thick、Implant、ContactHole 等工藝市占率持續(xù)提升。
晶瑞電材:國(guó)內(nèi)光刻膠先驅(qū),約三十年經(jīng)驗(yàn)積累。晶瑞股份專業(yè)從事微電子化學(xué)品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其四大類微電子化學(xué)品(超凈高純?cè)噭⒐饪棠z、功能性材料和鋰電池粘結(jié)劑)均為下游五大新興行業(yè)(半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、LED、平板顯示和鋰電池)的關(guān)鍵材料。經(jīng)過多年研發(fā)和積累,晶瑞股份部分超凈高純?cè)噭┻_(dá)到國(guó)際最高純度等級(jí)(G5),打破了國(guó)外技術(shù)壟斷,制定了多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);子公司蘇州瑞紅在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)目前集成電路芯片制造領(lǐng)域大量使用的核心光刻膠的量產(chǎn),在業(yè)內(nèi)建立了較高技術(shù)聲譽(yù)。
子公司蘇州瑞紅擁有負(fù)型光刻膠系列、寬譜正膠系列、g 線系列、i 線光刻膠系列、KrF 光刻膠系列等數(shù)十個(gè)型號(hào)產(chǎn)品。i 線光刻膠已向國(guó)內(nèi)中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫等知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨,是我國(guó)供應(yīng)半導(dǎo)體光刻膠出貨量最大的本土企業(yè)之一;KrF(248nm 深紫外)光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了 0.25~0.13μm 的技術(shù)要求,已通過部分重要客戶測(cè)試,KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中,計(jì)劃 2022 年形成批量供貨。
南大光電:ArF 光刻膠已送樣驗(yàn)證,進(jìn)度領(lǐng)先行業(yè)。江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。憑借 30 多年來的技術(shù)積累優(yōu)勢(shì),公司先后攻克了國(guó)家 863 計(jì)劃 MO 源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國(guó)家“02—專項(xiàng)”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD 前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個(gè)困擾我國(guó)數(shù)十年的項(xiàng)目,填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。
2016-2021 年間,公司業(yè)務(wù)規(guī)模快速發(fā)展,2021 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 9.84億元,CAGR 高達(dá) 54.19%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn) 1.36 億元,CAGR 為76.32%。
華懋科技:投資徐州博康切入光刻膠領(lǐng)域,擁有全產(chǎn)業(yè)鏈能力。華懋科技是國(guó)內(nèi)安全氣囊龍頭,國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率位居前列。公司子公司東陽凱陽 2020 年向徐州博康增資 3000 萬元,并向徐州博康實(shí)控人傅偉提供 5.5 億元的可轉(zhuǎn)股借款和 2.2 億元的投資款。華懋科技通過此舉合計(jì)持有徐州博康 26.7%股權(quán),成功切入了光刻膠領(lǐng)域。
徐州博康光刻膠單體以及相關(guān)專利已申請(qǐng) 50 余項(xiàng),其中獲得授權(quán) 20 余項(xiàng),主要涉及 KrF 和 ArF 光刻膠單體,目前研發(fā)人員超過 160 人,博士和碩士超過 50%。公司新生產(chǎn)基地于 2021 年 6 月 25 日進(jìn)入試生產(chǎn),如果新生產(chǎn)基地規(guī)劃全部達(dá)產(chǎn),可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)超過 1100t 光刻材料的生產(chǎn)能力,主要用于集成電路行業(yè)的光刻加工,根據(jù)公司測(cè)算將形成 20 億元左右的產(chǎn)值。
上海新陽:中國(guó)集成電路制造與封測(cè)關(guān)鍵材料龍頭。上海新陽產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路制造、3D-IC 先進(jìn)封裝、IC 傳統(tǒng)封測(cè)等領(lǐng)域,已成為多家集成電路制造公司 28nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)的基準(zhǔn)材料(base Line)。作為中國(guó)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料和應(yīng)用技術(shù)與服務(wù)的知名品牌,上海新陽已立項(xiàng)研發(fā)集成電路制造用高分辨率 193nm ArF 光刻膠與及配套材料與應(yīng)用技術(shù)。以此為基礎(chǔ),公司在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料領(lǐng)域的領(lǐng)先地位將更加穩(wěn)固。
2016-2021 年間公司營(yíng)收、歸母凈利潤(rùn)快速成長(zhǎng),2021 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 10.16 億元,CAGR 為 19.69%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn) 1.04 億元,同比下滑的原因主要是:1、公司 20 年金融資產(chǎn)公允價(jià)值變動(dòng)影響非經(jīng)常性損益增加 2.2 億元,但 21 年非經(jīng)常性損益影響較小。扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤(rùn)較上年同期增長(zhǎng) 85%-128%;2、為進(jìn)行光刻膠研發(fā)項(xiàng)目以及參與重大國(guó)家科技項(xiàng)目研發(fā),公司 21 年研發(fā)投入超過 2 億元。
雅克科技:專注面板光刻膠,外延并購(gòu)不斷擴(kuò)充光刻膠版圖。雅克科技股份有限公司是一家致力于工業(yè)材料,生產(chǎn)和銷售的深交所中小板上市公司。雅克旗下設(shè)有“新材料”,“新能源”和“電子”事業(yè)部。在 2016 年,雅克科技先后收購(gòu)了成都科美特和韓國(guó) Up Chemical,間接參股韓國(guó) COTEM 公司從而具備了 TFT 正性膠,半導(dǎo)體材料 SDO(旋涂絕緣介質(zhì)),前驅(qū)體和氟化氣體的業(yè)務(wù)能力,并將其歸至“電子”事業(yè)部組織框架內(nèi)。
智東西認(rèn)為,光刻膠是半導(dǎo)體、面板、PCB 制造必不可少的原材料,且難度大壁壘高。目前國(guó)產(chǎn)光刻膠在中游制造方面已經(jīng)取得了里程碑式的突破,涌現(xiàn)出一批優(yōu)秀企業(yè),2022 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠有望開花結(jié)果實(shí)現(xiàn)放量。
丁俊東
版權(quán)所有 未經(jīng)許可不得轉(zhuǎn)載
增值電信業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)許可證備案號(hào):遼ICP備14006349號(hào)
網(wǎng)站介紹 商務(wù)合作 免責(zé)聲明 - html - txt - xml